Цветокодированное отображение информации в растровой электронной микроскопии

В статье описывается система цветокодирования изображений для качественного и количественного анализа информации в растровом электронном микроскопе. В основу метода положено преобразование “интенсивность-цвет”, когда определенному параметру или свойству объекта ставится в соответствие определенный цвет. Квантование видеосигнала по цветному спектру осуществлено в режимах вторичной электронной эмиссии, отраженных электронов анализ объекта на элементный состав, потенциального контраста и наведенного тока при исследовании полупроводниковых структур. Экспериментально проиллюстрированы возможности цветокодирования видеосигнала при экспресс-анализе качества изделий микроэлектроники и при определении локального распределения химических элементов в исследуемых материалах. Илл. 8, библиогр. ссылок 11.