В. С. Вавилов, “Техника ионной имплантации”, УФН, 1983, том 140, номер 4,страницы 737

ЖУРНАЛЫ // Успехи физических наук // Архив

УФН, 1983, том 140, номер 4, страницы 737–738 (Mi ufn8695)

БИБЛИОГРАФИЯ

Техника ионной имплантации

В. С. Вавилов

УДК: 537.311.33(049.3)

DOI: 10.3367/UFNr.0140.198308l.0737