Эта публикация цитируется в 24 статьях

СОВЕЩАНИЯ И КОНФЕРЕНЦИИ

Отжиг ионно-легированных слоев под действием лазерного излучения

М. М. Зарипов, И. Б. Хайбуллин, Е. И. Штырков


УДК: 621.315.592(048)

PACS: 01.10.Fv

DOI: 10.3367/UFNr.0120.197612n.0706

 Англоязычная версия: Physics–Uspekhi, 1976, 19:12, 1032–1033