Method for measuring thickness of thin objects with a nanometer resolution, based on the single-layer flat-coil-oscillator method

Предложен и экспериментально обоснован метод измерения толщины пленок и лент с нанометрическим разрешением. Он основан на автогенераторе с плоской однослойной приемной катушкой. Осуществлены разработка, создание, калибровка и предварительное испытание лабораторного макета созданного по этому методу устройства, а также организовано компьютерное управление им в программной среде «NI LabVIEW». Метод может найти широкое применение как при решении научных задач, так и в микро- и нанотехнологии.