Аннотация:
Установлено, что изменение длины разрядного промежутка приводит к перераспределению электрических полей и изменению областей интенсивной ионизации, что влияет на движение ионов и степень коллимации выходящего ионного пучка. Определены оптимальные значения длины разрядного промежутка, при которых обеспечиваются формирование и выход узкого коллимированного ионного пучка.
УДК:
537.523.74
Поступила в редакцию: 08.10.1987 Принята в печать: 15.03.1988