Расчет газодинамики струй ВЧ-плазмы пониженного давления

В работе приводится описание модели потока ВЧ-плазмы при давлении $P=13.3\div133$ Па в переходном режиме при числе Кнудсена $8\cdot10^{-3}\leq\mathrm{Kn}\leq7\cdot10^{-2}$. Модель построена на основе статистического подхода. Приведены результаты расчета течения нейтральной компоненты плазмы в невозмущенном потоке и при наличии в струе образца.