Аннотация:
Описана самосогласованная модель неравновесного сильно неоднородного СВЧ-разряда. Модель основана на совместном решении уравнений Максвелла, уравнения Пуассона, уравнения Больцмана для свободных электронов плазмы и уравнений, описывающих колебательную кинетику и кинетику возбужденных и заряженных частиц водородной плазмы. Представлены результаты первых расчетов, которые качественно согласуются с данными экспериментов.
Ключевые слова:микроволновая плазма, разряд в водороде, самосогласованное моделирование, неравновесная плазма.
Полный текст:
PDF файл (654 kB)