Численное моделирование высокочастотного емкостного разряда

В работе рассмотрена нелинейная задача о нахождении параметров процесса взаимодействия высокочастотного емкостного разряда с образцом, находящимся на подложке, в локальном приближении. Задача описана системой нелинейных начально-краевых задач. Предложен численный метод решения данной задачи. Приведены результаты расчетов для модельной задачи и проведен их сравнительный анализ с характеристиками высокочастотного емкостного разряда без образца.