Аннотация:
Разработан новый метод расчета трехмерной структуры электромагнитных полей в индуктивно-связанной плазме. Метод основан на разложении электромагнитных полей и проводимости плазмы на Фурье-гармоники по полярному углу. Рассчитана динамика изменения трехмерной структуры электромагнитных полей в индуктивно-связанной плазме, пространственное распределение потоков энергии в плазму. Показана значительная асимметричность электромагнитных полей в индуктивно-связанной плазме, обусловленная асимметричной формой индуктора.