Аннотация:
Предложен алгоритм суперкомпьютерного моделирования высокоэнергетических процессов напыления оптических нанопокрытий. Алгоритм основан на использовании классической молекулярной динамики атомистического уровня, что позволяет изучать структурные особенности напыляемых нанопокрытий на масштабах от одного ангстрема до десятков нанометров. Параметры моделирования определены на примере пленки диоксида кремния по результатам проведенных ранее численных экспериментов по изучению взаимодействия отдельных высокоэнергетических атомов кремния с подложкой. Обсуждаются результаты применения метода для напыления пленки диоксида кремния.