Аннотация:
Проводится компьютерное моделирование ионной имплантации примесей в
наноколонны поверхности кремниевой пластины при направлении потока
ионов, параллельном основанию пластины.
Ключевые слова:математическое моделирование; легирование кремния; имплантация; донорные и акцепторные примеси.
Полный текст:
PDF файл (537 kB)