Аннотация:
Проведено исследование свободномолекулярного течения газа через колеблющуюся в своей плоскости мембрану. Определены оптимальные параметры колебаний для наиболее эффективного разделения газов, различающихся молекулярной массой.
Ключевые слова:мембрана, сепарация газов, высокочастотные колебания, микроэлектромеханические системы, наноэлектромеханические системы, свободномолекулярное течение.