Моделирование кинетики формирования дисперсной фазы в процессах плазмохимической полимеризации кремнийорганических соединений в тлеющем разряде

Рассмотрены возможности моделирования кинетики формирования дисперсной фазы в приэлектродных областях тлеющего разряда. На основе экспериментальных исследований образования и эволюции дисперсной фазы методами лазерной аэрозольной фотометрии, электронной микроскопии и масс-спектрометрии даны оценки размерам первичных аэрозолей, скоростям их генерации, коагуляции и ухода из объема разряда. Показано, что количество ноходяшсйся в объеме разряда дисперсной фазы определяется разницей в скоростях генерации, коагуляции и диффузии аэрозольных частиц, имеющих различную физико-химическую природу.