Анализ и устранение влияния оптического фактора на параметрическую оценку микрорельефа поверхности, производимую оптико-электронным комплексом

В статье рассматривается метод компенсации дополнительной погрешности измерения оптико-электронными средствами параметров микрорельефа поверхности, которая возникает вследствие отклонения уровня светового потока от его номинального значения. Метод основывается на определении автокорреляционных функций по изображениям анализируемых поверхностей.