Н. В. Латухина, Г. А. Писаренко, А. В. Волков, В. А. Китаева, “Фоточувствительная матрица на основе пористого микрокристаллического кремния”, Вестн. СамГУ. Естественнонаучн. сер., 2011, выпуск 5(86),страницы 115

Эта публикация цитируется в 1 статье

Физика

Фоточувствительная матрица на основе пористого микрокристаллического кремния

Н. В. Латухина^a, Г. А. Писаренко^a, А. В. Волков^b, В. А. Китаева^b

^a Кафедра полупроводниковой электроники и нанотехнологий Самарского государственного университета, 443011, Российская Федерация, г. Самара, ул. Акад. Павлова, 1
^b Кафедра наноинженерии Самарского государственного аэрокосмического университета 443086, Российская Федерация, г. Самара, Московское шоссе, 34

Аннотация: В работе представлены результаты экспериментальных исследований фотоэлектрических свойств матрицы фотодиодов, сформированной на основе пористого кремния. Слои пористого кремния были получены в процессе электрохимического травления пластин монокристаллического кремния с заранее созданным микрорельефом поверхности. На основании результатов исследований произведена оценка возможности использования полученной структуры в качестве составной части искусственной сетчатки глаза.

Ключевые слова: пористый кремний, электролитическое травление, текстурированная поверхность, фоточувствительность, искусственная сетчатка.

УДК: 539.25+538.958+621.315.592.9

Поступила в редакцию: 14.09.2011
Исправленный вариант: 24.10.2011