Аннотация:
Для оценки упругих свойств поликристаллического кремния можно использовать несколько аналитических подходов. В экспериментальных исследованиях вводится понятие макроскопически изотропного агрегата, когда монокристаллы подчиняются кубической симметрии. В статье дается краткий обзор аналитических подходов к прогнозированию упругих свойств и их применению для оценки эффективных параметров поликристаллического кремния. Прогнозы основаны исключительно на параметрах, связанных со сдвигом. Результаты сопоставляются для разных применяемых подходов, а для оценки вводятся различные меры. При сравнении с экспериментальными данными среднее геометрическое означает разумную оценку упругих свойств поликристаллического кремния.
Ключевые слова:кремний, кубические монокристаллы, поликристаллический агрегат, методы усреднения, эластичность.