Аннотация:
Представлены результаты разработки и применения методики определения оптических констант и толщины тонкой пленки. Для определения неизмеримых параметров сформирована обобщенная целевая модельная функция. Модельная привязка осуществляется с помощью методов наименьших квадратов и наискорейшего спуска. Повышение эффективности достигается путем применения трехэтапного алгоритма обработки данных. Предложенная методика применена для расчета характеристик многощелочного фотокатода — сложного соединения, имеющего в своем составе антимониды калия, натрия и цезия. Проведено сравнение результатов расчетов с данными, приводимыми в литературе. Библиогр. 11 назв. Ил. 4.
Ключевые слова:тонкая пленка, оптические константы, толщина тонкой пленки, обобщенная целевая модельная функция, алгоритм обработки данных.
УДК:
004.942, 538.958
Поступила:3 ноября 2016 г. Принята к печати: 19 января 2017 г.
Полный текст:
PDF файл (419 kB)