Аннотация:
Данная статья посвящена математическому моделированию осесимметричной триодной эмиссионной системы на основе полевого эмиттера. Эмиттер представляет собой эллипсоид вращения, анод — конфокальную эллипсоидальную поверхность вращения, модулятор — часть эллипсоидальной поверхности вращения, конфокальной с поверхностями катода и анода. Граничная задача решена для уравнения Лапласа в вытянутых сфероидальных координатах с граничными условиями первого рода. Для расчета распределения электростатического потенциала был использован метод разделения переменных. Распределение потенциала представлено в виде разложений по функциям Лежандра. Коэффициенты разложений являются решением системы линейных алгебраических уравнений. Все геометрические размеры системы являются параметрами задачи.
Ключевые слова:микро- и наноэлектроника, полевой эмиттер, полевая эмиссия, математическое моделирование, электростатический потенциал, граничная задача, функции Лежандра.