Распределение концентрации имплантируемой примеси при обработке поверхности последовательными импульсами

Рассмотрено математическое моделирование начальной стадии поверхностной обработки материала потоком частиц с использованием двух последовательных импульсов. Описана математическая постановка задачи в размерных и безразмерных переменных. Модель учитывает конечность времен релаксации потоков тепла и массы, взаимодействие процессов разной физической природы — распространение механических возмущений и диффузии внедряемого материала. Разработанный численный алгоритм основан на неявной разностной схеме. Приведены примеры решения связанной задачи при обработке одним и двумя импульсами, выявлены различия в получаемых распределениях.