Т. Ф. Исаев, И. В. Кочиков, Д. В. Лукьяненко, А. В. Тихонравов, А. Г. Ягола, “Сравнение алгоритмов решения задачи определения толщин слоев оптических покрытий в режиме “on-line””, Ж. вычисл. матем. и матем. физ., 2019, том 59, номер 3,страницы 494

Эта публикация цитируется в 2 статьях

Сравнение алгоритмов решения задачи определения толщин слоев оптических покрытий в режиме “on-line”

Т. Ф. Исаев^a, И. В. Кочиков^b, Д. В. Лукьяненко^a, А. В. Тихонравов^b, А. Г. Ягола^a

^a 119992 Москва, Ленинские горы, МГУ, Физ. фак-т, Россия
^b 119992 Москва, Ленинские горы, МГУ, НИВЦ, Россия

Аннотация: Рассмотрены основные алгоритмы определения толщин слоев напыляемых многослойных оптических покрытий. Проведено сравнение этих алгоритмов. На серии модельных численных экспериментов показано преимущество одного из этих алгоритмов, а именно модифицированного $T$-алгоритма, позволяющего уменьшить влияние кумулятивного эффекта накопления ошибок в определяемых толщинах слоев. Библ. 23. Фиг. 5.

Ключевые слова: функционал невязки, напыляемый слой, математическое ожидание, “on-line” мониторинг.

УДК: 519.63

Поступила в редакцию: 18.07.2018

DOI: 10.1134/S0044466919030104