Вычислительные подходы к исследованию эффекта самокомпенсации ошибок при напылении многослойных оптических покрытий

В работе развивается новый вычислительный подход к оценке силы эффекта самокомпенсации ошибок при широкополосном оптическом контроле процесса напыления многослойных покрытий. Предложена новая форма оценки силы эффекта самокомпенсации ошибок. Показано, что исследование наличия эффекта самокомпенсации с помощью вычислительных экспериментов по моделированию процесса напыления и оценки двух параметров, характеризующих степень коррелированности ошибок и силу эффекта самокомпенсации, наиболее целесообразно с практической точки зрения. Библ. 15. Фиг. 5.