Устойчивый метод оптического контроля процесса напыления многослойных оптических покрытий

Предложен устойчивый метод оптического контроля толщин слоев при напылении многослойных оптических покрытий, позволяющий полностью устранить кумулятивный эффект накопления ошибок в толщинах напыляемых слоев. Рассматриваемый метод контроля использует нелокальный алгоритм анализа данных, получаемых при контроле процесса напыления покрытия. С помощью компьютерной симуляции процесса напыления демонстрируется эффективность предложенного типа контроля в сравнении с другими типами оптического контроля. Библ. 13. Фиг. 3.