Аннотация:
Предлагается модификация метода приближенной факторизации для решения уравнения Пуассона, описывающего распределение электростатического потенциала в двумерных областях типа металл–диэлектрик–полупроводник, со сложной геометрией и глубокими профилями металла, окисла и примеси.
УДК:
519.6:517.958
Поступила в редакцию: 21.06.1988 Исправленный вариант: 23.12.1988