PHYSICS

Application of metal resinate films in electron- and photolithography

V. P. Ageev, I. V. Baranenkov, K. A. Valiev, L. V. Velikov, V. I. Konov, A. I. Maslakov, V. M. Melnikov, A. M. Prokhorov

General Physics Institute of the Academy of Sciences of the USSR, Moscow

UDC: 621.382

Received: 03.03.1987