Optical and vibrational properties of $a$-$\mathrm{SiN}_{x}:\mathrm{H}$

L. A. Balagurov, I. M. Zaritskii, N. Yu. Karpova, A. F. Orlov, È. M. Omel'yanovskii, D. P. Utkin-Edin

JSC "Giredmet" SRC RF, the Federal State Research and Design Institute of Rare Metal Industry

UDC: 621.315.592.26

Received: 27.12.1988
Revised: 26.05.1989

Bibliographic databases:

•