QUANTUM INFORMATION SCIENCE

Влияние методов травления на диэлектрические потери кубитов-трансмонов

T. A. Chudakova^abc, G. S. Mazhorin^bac, I. V. Trofimov^d, N. Yu. Rudenko^b, A. M. Mymlyakov^d, A. S. Kazmina^cab, E. Yu. Egorova^acb, P. A. Gladilovich^b, M. V. Chichkov^b, N. A. Maleeva^b, M. A. Tarkhov^d, V. I. Chichkov<sup>b

a</sup> Russian Quantum Center, Skolkovo, Moscow
^b National University of Science and Technology «MISIS», Moscow
^c Moscow Institute of Physics and Technology (National Research University), Dolgoprudny, Moscow Region
^d Institute of Nanotechnologies of Microelectronics, Russian Academy of Sciences

Received: 03.07.2024
Revised: 20.07.2024
Accepted: 22.07.2024

DOI: 10.31857/S0370274X24080244