Brief Communications

SHORT-WAVE UV PHOTOLITHOGRAPHY BASED ON HEAVY-CURRENT PLASMODYNAMIC DISCHARGES OF MAGNETOPLASMIC COMPRESSORS

N. P. Kozlov, A. S. Kamrukov, G. N. Kashnikov, V. K. Orlov, Yu. S. Protasov, I. N. Rubtsov, V. V. Ul'yanov, A. N. Yakimenko

Bibliographic databases:

•