Plasma

Демпфированный вакуумный разряд как вариант источника ЭУФ излучения для литографии

L. V. Stepanov^ab, P. S. Antsiferov^ab, N. D. Matyukhin<sup>ac

a</sup> Institute of Spectroscopy, Russian Academy of Sciences, Troitsk, Moscow
^b National Research University Higher School of Economics, Moscow
^c Moscow Institute of Physics and Technology (National Research University), Dolgoprudny, Moscow Region

Received: 17.12.2024
Revised: 21.02.2025
Accepted: 27.02.2025

DOI: 10.61011/JTF.2025.07.60651.463-24