Physical electronics

Влияние режимов магнетронного распыления на свойства защитных покрытий Ti–Al–Ta–N

A. Yu. Derbin, A. R. Shugurov, E. D. Kuz'minov, A. V. Panin

Institute of Strength Physics and Materials Science, Siberian Branch of the Russian Academy of Sciences, Tomsk

Received: 28.01.2025
Revised: 12.03.2025
Accepted: 27.03.2025

DOI: 10.21883/0000000000