XXIX Symposium "Nanophysics and Nanoelectronics" in Nizhny Novgorod, March 10-14, 2025
Electrophysics

Установка ионно-пучковой коррекции и асферизации формы поверхности оптических элементов УИП-300

A. E. Pestov, M. S. Mikhailenko, A. K. Chernyshev, N. I. Chkhalo, I. G. Zabrodin, A. I. Nikolaev, I. A. Kas'kov, E. S. Antushin

Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhnii Novgorod

Received: 26.05.2025
Revised: 26.05.2025
Accepted: 26.05.2025

DOI: 10.61011/JTF.2025.09.61244.82-25