XXIX Symposium "Nanophysics and Nanoelectronics" in Nizhny Novgorod, March 10-14, 2025
Experimental instruments and technique

Автоматизированная система для измерения формы поверхности крупногабаритных плоских и цилиндрических зеркал на интерферометре типа Физо

E. I. Glushkov, I. V. Malyshev, A. I. Nikolaev, E. V. Petrakov, N. I. Chkhalo, R. A. Shaposhnikov

Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhnii Novgorod

Received: 25.06.2025
Revised: 25.06.2025
Accepted: 25.06.2025

DOI: 10.61011/JTF.2025.10.61352.170-25