Yu. A. Danilov, I. N. Antonov, V. I. Bachurin, M. V. Ved, O. V. Vikhrova, Yu. A. Dudin, I. L. Kalentyeva, R. N. Kriukov, A. V. Nezhdanov, A. E. Parafin, S. G. Simakin, P. A. Yunin, “Формирование ферромагнитных слоев GaMnAs имплантацией ионов Mn в ускорителе с вакуумно-дуговым источником”, Zhurnal Tekhnicheskoi Fiziki, 2026, Volume 96, Issue 4,Pages <nobr>770

Solid-State Electronics

Формирование ферромагнитных слоев GaMnAs имплантацией ионов Mn в ускорителе с вакуумно-дуговым источником

Yu. A. Danilov^a, I. N. Antonov^a, V. I. Bachurin^b, M. V. Ved^a, O. V. Vikhrova^a, Yu. A. Dudin^a, I. L. Kalentyeva^a, R. N. Kriukov^a, A. V. Nezhdanov^a, A. E. Parafin^c, S. G. Simakin^b, P. A. Yunin^c

^a National Research Lobachevsky State University of Nizhny Novgorod
^b Yaroslavl branch of the Institute of physics and technology, Institution of Russian academy of sciences
^c Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhnii Novgorod

Received: 18.04.2025
Revised: 23.10.2025
Accepted: 26.11.2025

DOI: 10.61011/JTF.2026.04.62664.77-25