Computational methods and algorithms

A method of data processing for the interferometric control of dissolution of resist film

A. L. Bogdanov, K. A. Valiev, L. V. Velikov, D. Yu. Zaroslov, V. A. Nikitaev, V. E. Tukish


UDC: 535.417

Received: 21.10.1988

Bibliographic databases:

•