Proceedings of The XXVIII Annual International Conference "Saratov Fall Meeting 2024", September 23-27, 2024, Saratov, Russia. Advanced materials in optoelectronics, laser physics, and photonics
Condensed matter spectroscopy

Влияние внутренней зарядки на возможность катодолюминесцентного профилирования: $\beta$-Ga$_2$O$_3$, имплантированный бором

A. A. Tatarintsev^ab, A. E. Ieshkin^a, E. Yu. Zykova^a, N. G. Orlikovsaya^a, V. A. Kiselevskii<sup>bc

a</sup> Lomonosov Moscow State University
^b National Research Centre "Kurchatov Institute", Moscow
^c V. G. Mokerov Institute of Ultra High Frequency Semiconductor Electronics of RAS, Moscow

Received: 05.12.2024
Revised: 09.12.2024
Accepted: 10.12.2024

DOI: 10.61011/OS.2025.03.60238.139-24