A. I. Abanin, R. M. Ryazanov, A. D. Golikov, V. V. Kovalyuk, I. O. Venediktov, P. P. An, D. A. Shimlovskaya, E. P. Kitsyuk, S. S. Kosolobov, P. I. Lazarenko, G. N. Gol'tsman, V. V. Svetukhin, “Разработка технологии создания фотонных интегральных схем с кольцевыми микрорезонаторами на основе структур Si/SiO$_2$/Si$_3$N$_4$”, Optics and Spectroscopy, 2025, Volume 133, Issue 9,Pages 957

Optical materials

Разработка технологии создания фотонных интегральных схем с кольцевыми микрорезонаторами на основе структур Si/SiO$_2$/Si$_3$N$_4$

A. I. Abanin^abc, R. M. Ryazanov^a, A. D. Golikov^de, V. V. Kovalyuk^df, I. O. Venediktov^fd, P. P. An^ed, D. A. Shimlovskaya^g, E. P. Kitsyuk^a, S. S. Kosolobov^g, P. I. Lazarenko^c, G. N. Gol'tsman^fh, V. V. Svetukhin^a

^a SPC "Technological Center" MIET
^b Ulyanovsk State University
^c National Research University of Electronic Technology
^d National University of Science and Technology «MISIS», Moscow
^e Moscow State Pedagogical University
^f National Research University Higher School of Economics, Moscow
^g Skolkovo Institute of Science and Technology
^h Russian Quantum Center, Skolkovo, Moscow

Received: 06.06.2025
Revised: 09.09.2025
Accepted: 10.09.2025

DOI: 10.61011/OS.2025.09.61763.8228-25