V. E. Borisenko, D. I. Zarovskiy, “Секундный отжиг имплантированного кремния низкоэнергетическими электронами”, Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov, 1984, Volume 18, Issue 10,Pages <nobr>1909

JOURNALS // Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov // Archive

Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov, 1984 Volume 18, Issue 10, Pages 1909–1911 (Mi phts2014)

Short Notes

Секундный отжиг имплантированного кремния низкоэнергетическими электронами

V. E. Borisenko, D. I. Zarovskiy