V. I. Fistul, A. M. Pavlov, “Лазерная имплантация примесей в кремнии”, Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov, 1983, Volume 17, Issue 5,Pages <nobr>854

RUS ENG

JOURNALS // Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov // Archive

Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov, 1983 Volume 17, Issue 5, Pages 854–858 (Mi phts2295)

Лазерная имплантация примесей в кремнии

V. I. Fistul, A. M. Pavlov