RUS
ENG
Full version
JOURNALS
// Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov
// Archive
Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov,
1983
Volume 17,
Issue 9,
Pages
1698–1701
(Mi phts2514)
Short Notes
Зависимость скорости формирования
$E$
-центров в кремнии от вида легирующей донорной примеси
V. V. Mikhnovich
, S. G. Titarenko
Fulltext:
PDF file (563 kB)
©
Steklov Math. Inst. of RAS
, 2024