RUS
ENG
Full version
JOURNALS
// Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov
// Archive
Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov,
1983
Volume 17,
Issue 11,
Pages
1995–2002
(Mi phts2592)
Диффузионные приповерхностные примесные профили в полупроводниках I. Постановка задачи. Последовательная диффузия
V. I. Fistul
,
M. I. Sinder
Fulltext:
PDF file (789 kB)
©
Steklov Math. Inst. of RAS
, 2024