Исследование однородности легирования и влияния легирующей примеси фосфора на электрофизические параметры тонких пленок аморфного гидрированного кремния

M. S. Ablova, U. Zh. Abdumanapov, K. P. Abdurakhmanov, G. S. Kulikov, D. P. Utkin-Edin, K. X. Khodzhaev