Кинетика генерации низкотемпературных кислородных доноров в кремнии с изовалентными примесями

Yu. M. Babitskii, N. I. Gorbacheva, P. M. Grinshtein, M. A. Ilin, V. P. Kuznetsov, M. G. Mil'vidskii, B. M. Turovsky