RUS
ENG
Full version
JOURNALS
// Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov
// Archive
Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov,
1988
Volume 22,
Issue 7,
Pages
1171–1176
(Mi phts2934)
Исследование свойств пленок
$a$
-Si : H, имплантированных B
$^{+}$
и BF
$^{+}_{2}$
S. E. Abdulgafarov
, A. P. Koka
,
B. N. Mukashev
, R. E. Naurzalin
, B. M. Talibaev
, Yu. N. Tokarev
Fulltext:
PDF file (730 kB)
©
Steklov Math. Inst. of RAS
, 2024