RUS
ENG
Full version
JOURNALS
// Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov
// Archive
Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov,
1988
Volume 22,
Issue 7,
Pages
1308–1311
(Mi phts2964)
Short Notes
Влияние быстродиффундирующих примесей на малоугловое рассеяние света в кремнии
A. V. Batunina
, V. V. Voronkov
, G. I. Voronkova
,
V. P. Kalinushkin
,
T. M. Murina
, V. I. Firsov
, M. N. Shulepnikov
Fulltext:
PDF file (646 kB)
©
Steklov Math. Inst. of RAS
, 2024