V. V. Artamonov, M. Ya. Valakh, M. P. Lisitsa, V. G. Litovchenko, B. N. Romanyuk, I. V. Rudskoi, V. V. Strelchuk, “Исследование процесса разупорядочения кремния при ионной имплантации Ar<nobr>$^{+}$</nobr>”, Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov, 1988, Volume 22, Issue 11,Pages <nobr>1961

Исследование процесса разупорядочения кремния при ионной имплантации Ar$^{+}$

V. V. Artamonov, M. Ya. Valakh, M. P. Lisitsa, V. G. Litovchenko, B. N. Romanyuk, I. V. Rudskoi, V. V. Strelchuk