RUS
ENG
Full version
JOURNALS
// Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov
// Archive
Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov,
1988
Volume 22,
Issue 11,
Pages
2039–2042
(Mi phts3127)
Определение профиля концентрации лития при его дрейфе в кремнии по емкостным измерениям
V. M. Andreev
,
V. K. Eremin
, N. V. Strokan
, E. V. Shokina
Fulltext:
PDF file (527 kB)
©
Steklov Math. Inst. of RAS
, 2024