RUS
ENG
Full version
JOURNALS
// Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov
// Archive
Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov,
1988
Volume 22,
Issue 11,
Pages
2088–2090
(Mi phts3141)
Short Notes
Диффузия фосфора в профилированном кремнии, полученном способом А. В. Степанова
K. P. Abdurakhmanov
, M. B. Zaks
, V. V. Kasatkin
,
G. S. Kulikov
, S. K. Persheev
, K. Kh. Khodzhaev
Fulltext:
PDF file (422 kB)
©
Steklov Math. Inst. of RAS
, 2024