Short Notes

Скорость введения и профиль концентрации $A$-центров в $n$-кремнии, облученном электронами с энергией вблизи порога дефектообразования

L. S. Berman, N. A. Vitovskiy, V. B. Voronkov, V. N. Lomasov, A. D. Remeshok, V. N. Tkachenko, M. G. Tolstobrov