RUS
ENG
Full version
JOURNALS
// Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov
// Archive
Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov,
1989
Volume 23,
Issue 8,
Pages
1347–1350
(Mi phts3469)
Исследование поведения примесей при ионной имплантации селеном GaAs
S. V. Evgenev
, I. A. Lapkina
, Yu. P. Ozerov
,
V. B. Ufimtsev
Fulltext:
PDF file (533 kB)
©
Steklov Math. Inst. of RAS
, 2024