Особенности поведения изовалентной примеси — индия при легировании арсенида галлия в процессе газофазовой эпитаксии из металлоорганических соединений

V. A. Bykovskij, L. A. Ivanyutin, T. I. Kol'chenko, V. M. Lomako, I. N. Tsyplenkov, V. V. Chaldyshev, Yu. V. Shmartsev