RUS
ENG
Full version
JOURNALS
// Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov
// Archive
Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov,
1990
Volume 24,
Issue 2,
Pages
264–270
(Mi phts3712)
Крупномасштабные электрически активные примесные скопления в кристаллах кремния, выращенных методом Чохральского
A. N. Buzynin
, S. E. Zabolotskii
,
V. P. Kalinushkin
, A. E. Lukyanov
,
T. M. Murina
,
V. V. Osiko
,
M. G. Ploppa
, V. M. Tatarintsev
, A. M. Eidenzon
Fulltext:
PDF file (10394 kB)
©
Steklov Math. Inst. of RAS
, 2025